[종목공부] 국내 유일 반도체 오버레이 측정기 생산기업 [오로스테크놀로지]. 반도체 핵심 계측장비 생산.

[오로스테크놀로지]는 반도체 웨이퍼의 회로패턴 정렬상태를 측정하는 오버레이(overlay) 장비 전문 업체입니다. 일반적으로 반도체는 전공정과 후공정을 거치면서 만들어지게 됩니다. 반도체 웨이퍼에 회로패턴을 입력하는 전공정의 경우 노광/식각/세정/증착/이온주입/확산/CMP 등의 과정을 거치게 되는데, 이 과정을 반복하며 회로패턴을 적층해갈 때 회로 패턴간의 정렬오차가 발생하는 지를 검사하고 제어하는 역할을 하는 것이 바로 오버레이 장비입니다. 회로패턴의 수직 적층 정렬도를 확인하기 위해서는 주로 오버레이 타겟을 활용하며, 이는 웨이퍼 회로패턴을 확인하기 위한 가늠좌역할을 합니다. 

[오로스테크놀로지]는 미세한 회로패턴을 정밀 검사하기 위한 광학 및 초점기술도 보유하고 있지만, 독자적인 오버레이 타겟을 개발하여 보유하고 있다는 점이 특징입니다. 독자적인 구조로 설계된 동사의 오버레이 타겟을 기존 타겟 대비 절반의 면적으로도 비슷한 수준의 정밀 측정 성능 구현이 가능합니다. 이를 바탕으로 국내 반도체 생산업체로부터 기술혁신기업으로 선정되었을 뿐만 아니라 국내외 다양한 고객사를 확보할 수 있는 근간이 되었습니다.

반도체 웨이퍼에 회로를 새기기 위해서는 수백번의 반복작업이 진행되는데, 갈수록 미세공정화 됨에 따라 오베레이 계측장비의 필요성은 점점 높아지는 상황입니다. 제한된 범위에 집적도를 높임으로써 수율 및 성능 향상을 이끌어내기 위해서는 분명 한게가 존재하기 때문입니다. 이를 극복하기 위한 방법의 일환으로 오버레이 측정 포인트를 늘리는 등 회로 오정렬 방지 등을 위한 시도가 이루어지고 있습니다. 하지만 전공정 중에서도 식각이나 증착 장비의 국산화 시도는 꾸준히 진행되고 있지만, 계측 장비 국산화에 대한 시도는 더딘 상황입니다. 특히 패턴의 선폭을 측정하거나, 결함을 검사하는 부분에 있어 국산화율은 제로 수준입니다. [오로스테크놀로지]는 KLA나 ASML이 과점하고 있는 오버레이 계측 장비 시장에 침투한 국내유일 업체로 경쟁업체의 점유율을 잠식해 나가는 과정에 있다는 판단입니다.

반도체 계측장비 중에 핵심장비인 만큼 '삼성전자'와 'SK하이닉스'를 모두 고객사로 확보하고 있으며, 외산 장비보다 가격 경쟁력이 높으면서도 정확성과 속도가 뒤지지 않다는 평가를 받고 있습니다. 오버레이 계측장비 시장은 미국(KLA)과 네델란드(ASML)에서 90%이상 시장을 잠식하고 있는 가운데 [오로스테크놀로지]가 국산장비를 개발하면서 소부장 독립의 밑바탕이 되었다는 평가도 받고 있습니다. 현재 5% 수준인 세계 시장 점유율은 2021년 10%, 2023년 15%로 점차 늘리겠다는 계획을 가지고 있습니다.

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[[ 오로스테크놀로지 POINT ]]

- 반도체 오버레이 장비 업체. 국내 유일의 장비업체

- 현 시장 점유율은 5% 정도. 기존의 장비보다 가격경쟁력이 높지만, 정확성과 속도가 뒤쳐지지 않음

- 반도체 계측장비 중에 핵심장비로 반도체 생산기업에 필수인 장비

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[[ 오로스테크놀로지 종목 SUMMARY ]]

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