오로스테크놀로지1 [종목공부] 국내 유일 반도체 오버레이 측정기 생산기업 [오로스테크놀로지]. 반도체 핵심 계측장비 생산. [오로스테크놀로지]는 반도체 웨이퍼의 회로패턴 정렬상태를 측정하는 오버레이(overlay) 장비 전문 업체입니다. 일반적으로 반도체는 전공정과 후공정을 거치면서 만들어지게 됩니다. 반도체 웨이퍼에 회로패턴을 입력하는 전공정의 경우 노광/식각/세정/증착/이온주입/확산/CMP 등의 과정을 거치게 되는데, 이 과정을 반복하며 회로패턴을 적층해갈 때 회로 패턴간의 정렬오차가 발생하는 지를 검사하고 제어하는 역할을 하는 것이 바로 오버레이 장비입니다. 회로패턴의 수직 적층 정렬도를 확인하기 위해서는 주로 오버레이 타겟을 활용하며, 이는 웨이퍼 회로패턴을 확인하기 위한 가늠좌역할을 합니다. [오로스테크놀로지]는 미세한 회로패턴을 정밀 검사하기 위한 광학 및 초점기술도 보유하고 있지만, 독자적인 오버레이 타겟을 개발.. 2021. 2. 25. 이전 1 다음